@Air Compressor
2025-04-17
圧縮空気に触れるのか？
製造工程中のガラス通常の圧縮空気との直接接触を避ける厳格に処理されたクリーンな圧縮空気が必要です。以下は、その理由と仕様です。
なぜ通常の圧縮空気に触れないのか？
- 汚染のリスク：
- 油分の汚染：通常の圧縮空気には微量の油分が含まれており、少量でもウェハ表面に付着し、レジストの付着性や回路パターン精度に影響を与えます。
- 水の凝縮：乾燥していない圧縮空気は低温パイプで水に凝縮しやすく、ウエハの湿気や機器の腐食の原因となります。
- 粒子の傷ほこりや金属屑などの固体粒子は、表面を傷つけ、不可逆的な欠陥を引き起こす可能性があります。
- プロセスへの影響：
- フォトリソグラフィ精度の低下：不純物はリソグラフィマスクを汚染し、チップパターン複製バイアスを引き起こす可能性があります。
- エッチング均一性の低下：不純ガスはエッチング化学反応条件を変化させ、ラインエッジ制御に影響を与えます。
- ドーピング濃度の変動不純物干渉ドーピングプロセスは、トランジスタ性能のばらつきを引き起こします。
- 設備の損傷：
- 精密部品の腐食腐食性ガスを含む圧縮空気は、機器の老化を加速させます。
- パイプ閉塞粒子状物質はガスノズルや真空ポンプを詰まらせ、ダウンタイムのリスクを高めます。
2.クリーン圧縮空気の使用基準
- 品質レベル要件：
- オイルなし。残留油≤ 0.0 1 mg/m3（一部のプロセス要件≤0.1 ppm）。
- 乾燥度は圧力露点≤-40 ° C（一部のプロセスでは≤-70 ° Cが必要です）。
- 粒子ろ過の≥ 0.0 1 μm粒子ろ過効率≥ 99.995%。
- 圧力安定性変動範囲を± 0.0 1 MPa以内に制御します。
- ガス供給システムの設計：
- 独立したガス室圧縮空気発生装置は、熱放射や振動の影響を避けるためにクリーンルームから分離する必要があります。
- 多段フィルタリング油水分離器、活性炭吸着器、超精密フィルターを順次配置します。
- 配管マテリアル配管マテリアル：316 Lステンレス鋼または内壁電解研磨パイプを使用して、粒子状物質の落下を低減します。
- シーン制限を使用する：
- 直接接触の禁止搬送、洗浄などの過程では、圧縮空気は機器駆動（シリンダなど）にのみ使用され、ウェーハと直接接触することはありません。
- 正圧保護とは：クリーンルーム内は正圧を維持し、外気の侵入を防止します。
III.代替案と緊急対応
- 窒素置換の結果ウェハ搬送などの重要なプロセスステップで高純度窒素を使用すると、コストは高くなりますが、安全性は向上します。
- フッ素オイル試験法：高圧試験では、圧縮空気絶縁の代わりにフッ素油浸漬を使用し、試験後のフッ素油の揮発性残留物はありません。
- 静電保護圧縮空気パージ装置を使用する場合は、まず電離装置で静電気を除去する必要があります。
結論としてウェハ製造における圧縮空気の品質要件は非常に厳しく、通常の圧縮空気中の不純物は、ウェハの廃棄や機器の故障に直接つながる可能性があります。オイルフリーエアコンプレッサー、多段ろ過システム、厳格な露点制御により、圧縮空気はクラス1規格（ISO 85 7 3 -1）を満たし、半導体プロセスの要件を満たすことができます。