@Air Compressor
2025-04-15
電子半導体の空気圧縮機の要件は何ですか？
電子半導体業界のエアコンプレッサーの要件は非常に厳しく、同時に満たす必要があります。プロセス安定性、製品清浄度、エネルギー効率の信頼性3つのコア規格。以下は、特定の技術要件と推奨オプションです。
I.コアパラメータ要件
- 空気質レベル
- 油分含有量：：達成する必要性0.0 01 ppm未満（一部のプロセスでは空気の代わりに純粋な窒素が必要です。
- ダストの含有量：固体粒子サイズ≤0.0 1 μ m（効率的なフィルターが必要です。
- 露点温度● ≤ ≤-40 ℃から-70 ℃（水分が凝結してウエハを汚染することを防止する）。
- 圧力安定性。出力圧力変動は±で制御する必要があります。0.01MPa内部（機器の誤動作を避けるため）。
- オイルフリーデザイン
- 圧縮方式です。：：採用するオイルフリースクリューまたは磁気浮上式遠心式空気圧縮機、潤滑油汚染を排除。
- 認証基準の認定採用が必要ですISO 857 3 -1クラス0オイルフリー認証は、ガス接触面が100%オイルフリーであることを保証します。
- 騒音と振動制御
- ノイズ値は動作ノイズが必要です。65 dB A（クリーンルーム環境基準に準拠）。
- 振動の制御：精密機器への干渉を避けるために、磁気浮上軸受や二段減衰装置を使用します。
2.業界の応用シナリオ
| プロセス·リンク | エアコンプレッサーの役割 | 特別なニーズ |
|---|---|---|
| ウェハー準備 | 環境温度の制御 | 露点≤-60 ° C、圧力変動<± 0.0 1 MPa |
| フォトリソグラフィー/エッチング | フォトレジストのパージ、エッチング残渣の除去 | 粉塵含有量<0.1μm、パルスなしの連続ガス供給 |
| イオン注入。 | 高圧ガス駆動イオン源の提供 | 圧力> 1.2 MPa、応答時間<1秒 |
| 薄膜成膜 | 真空チャンバー圧力の安定化 | 流量調整精度± 0.5%、オイルペレットなし |
| カプセル化テスト | ガスシール検出、ホットプレス溶接 | 油分<0.0 01 ppm、温度制御 |
3.重要な要素の選択
- エネルギー効率マッチング
- ガスの変動が大きい：：優先選択可変周波数オイルフリースクリュー機（30%~ 50%の省エネ）
- 大流量のニーズ：：選択する磁気浮上式遠心分離機（従来モデルより15 ~ 20%の省エネ）。
- 冗長性設計
- 2機の並列接続：一台の故障による生産停止を回避するために、一台のメインと予備の空気圧縮機を配置する。
- 窒素リザーブ：重要工程に窒素貯蔵タンクを増設し、突発的なガス供給中断に対応する。
- インテリジェントな監視
- 露点リアルタイムモニタリング：オンライン露点計、データ異常自動アラームを装備。
- エネルギー消費分析システム：統合されたエアコンプレッサークラウド監視プラットフォーム、最適な運用戦略。
- 検証基準
- DQ/IQ/OQ検証：SEMI規格に準拠した設計、実装、動作検証を実行します。
- 粒度テスト：レーザー粒子計数器を用いた24時間連続モニタリング。
プロセス要件の正確なマッチング、空気質の厳格な制御、エネルギー効率管理の最適化により、電子半導体業界はエアコンプレッサーシステムの改善を実現できます。ゼロ公害、低エネルギー消費、高信頼性チップ製造のための堅牢な保証を提供します。