半導体製造プロセスでは、ウェハ表面を清掃し、水分、不純物、汚染物を除去し、ウェハの酸化を防止するために窒素ガスを使用してウェハをブローする。
一般的に、ウエハ表面の清浄度を確保し、酸化を防ぐためには、窒素濃度は99.5%以上を推奨します。高純度の窒素ガスは、空気中の酸素や水分を効果的に除去し、ウエハの汚染や酸化を回避します。
もちろん、特定の窒素濃度要件はプロセスによって異なりますが、実際には、特定のプロセス要件と機器仕様に応じて適切な窒素濃度を決定する必要があります。
高度に統合されたガス源処理とインテリジェント監視を通じて医療用圧縮空気システムは、基本的な医療機能の実現を保証するだけでなく、感染制御、精密診断と治療において重要な役割を果たし、その設計と保守は厳密に“総合病院建築設計コード”とISO 13485医療機器認証規格に従う必要があります。
エアコンプレッサーと冷凍水乾燥機の共同制御システムは、インテリジェントな統合を通じて圧縮空気品質を大幅に向上させ、運転と保守コストを削減します。実用化では、業界の特性に応じてハードウェアアーキテクチャを選択し、定期的なメンテナンスと組み合わせてシステムの安定動作を確保する必要があります。
スクリューエアコンプレッサーのメンテナンスは、毎日の点検と定期的なメンテナンスを組み合わせる必要があり、“3ポイント、7ポイント”を確保します。標準化された操作とオリジナル消耗品の使用により、機器の安定性を大幅に向上させ、耐用年数を延ばすことができます。企業はメンテナンス台帳を作成し、技術アップグレードに伴う新たなニーズに適応するために定期的にオペレータを訓練する。
オイルフリーエアコンプレッサーは、潤滑油を使用しない圧縮空気圧縮機であり、そのコア機能は、空気品質に対する厳しい要件がある特定のアプリケーションシナリオを満たすために、クリーンでオイルフリーの圧縮空気を提供することです。以下は、オイルフリーエアコンプレッサーの用途の詳細な説明です。
保温対策の合理的な設計により、窒素圧縮空気パイプラインの安全かつ効率的な運転を確保することができる。実際には、特定の条件に応じて熱平衡計算を行い、断熱材の必要性と断熱材の選択を決定することをお勧めします。